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Trifluorométhane N50
Gaz à effet de serre relevant du protocole de Kyoto
Gaz chimique : CHF
3
Applications
Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs)
Informations de transport
Fiches de Données de Sécurité
Gaz comprimé : N° 119GIS
Accès :
http://securite.airliquide.frDonnées physiques
Propriétés
Equipement bouteilles
Raccord du robinet :
AFNOR C – IS 21,7 x 1,814 - à droite mâle
Couleur de l’ogive : Vert vif
Masse molaire
70 g/mol
Masse volumique (TPS)
2,99 kg/m
3
Densité relative, gaz
2,4 (air=1)
Densité relative, liquide
1,4 (eau=1)
N° CAS CHF
3
75-46-7
Potentiel de Réchauffement
Global (PRG) (CO
2
=1)
12 000
Risque majeur
Gaz sous pression, peut
causer l’asphyxie
Domaine d’inflammabilité
(% vol dans l’air)
Non inflammable
Compatibilité avec les
matériaux
Non corrosif
Caractéristiques
Gaz incolore, odeur
éthérée
Identification des dangers
Désignation officielle
Trifluorométhane
(gaz réfrigérant R23)
N° ONU
1984
ADR/RID
Classe 2
Code de classification 2 A
2
5.1
2
2
5.1
2
Spécifications du produit
Pureté globale
(% Vol. abs)
Impuretés
Mode
d’approvisionnement
Taille de
l’emballage
Pression
(bar) à 15°C
Capacité
Garantie
(mois)
Référence produit
>99,999
H
2
O < 4 ppm mole
N
2
< 40 ppm mole
O
2
+ Ar < 10 ppm mole
CO
2
< 10 ppm mole
C
n
H
m
< 2 ppm mole
C
x
F
y
< 10 ppm mole
Acidité < 0,4 ppm mole
Bouteille
S05
36,5 3,9 kg 36 P0737S05R0A001
6.53
Janv. 2016