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Silane N50
Gaz chimique : SiH
4
Spécifications du produit
Pureté globale
(% Vol. abs)
Impuretés
Mode
d’approvisionnement
Taille de
l’emballage
Pression
(bar) à 15°C
Capacité
Garantie
(mois)
Référence produit
>99,999
H
2
O < 1 ppm mole
O
2
+ Ar < 2 ppm mole
CO < 1 ppm mole
CO
2
< 1 ppm mole
H
2
< 50 ppm mole
N
2
< 2 ppm mole
CH
4
< 1 ppm mole
Ions Cl° < 2 ppm mole
Résistivité
< 1000
ohm.cm-1
Bouteille
S05 alu
49
540 g 36 P0974S05R0A001
Bouteille
L50 (P)
81
15 kg 36
A la demande
Cadre
V16 (P)
80 240 kg 36
A la demande
Applications
Dépôts de silicium amorphe
Dépôt CVD (fabrication de semi-conducteurs)
Traitement Corona haute performance des matières
plastiques
Revêtement de silice sur le verre
Epitaxie du silicium
Informations de transport
Fiches de Données de Sécurité
Gaz comprimé : N° 107GIS
Accès :
http://securite.airliquide.frDonnées physiques
Propriétés
Equipement bouteilles
Raccord du robinet :
AFNOR E – IS 21,7 x 1,814 - à gauche mâle (S05)
avec vanne pneumatique
et raccord DISS 632 (L50 et V16)
Couleur de l’ogive : Rouge
Désignation officielle Silane
N° ONU
2203
ADR/RID
Classe 2
Code de classification 2 F
Masse molaire
32 g/mol
Masse volumique (TPS)
1,35 kg/m
3
Densité relative, gaz
1,1 (air=1)
Densité relative, liquide
0,55 (eau=1)
N° CAS SiH
4
7803-62-5
Risque majeur
Extrêmement
inflammable, peut causer
l’asphyxie
Domaine d’inflammabilité
(% vol dans l’air)
1,4 à 100
Compatibilité avec les
matériaux
Non corrosif
Caractéristiques
Gaz incolore, inodore
Identification des dangers
2
5.1
2
2
5.1
2
P : robinet pneumatique
6.48
Janv. 2016