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Trifluorure d’azote N40
Gaz chimique : NF
3
Applications
Nettoyage CVD (fabrication de semi-conducteurs)
Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs)
Informations de transport
Fiches de Données de Sécurité
Gaz comprimé : N° 091GIS
Accès :
http://securite.airliquide.frDonnées physiques
Propriétés
Equipement bouteilles
Raccord du robinet :
Vanne pneumatique avec raccord DISS 640
Couleur de l’ogive : Jaune
Désignation officielle Trifluorure d’azote
N° ONU
2451
ADR/RID
Classe 2
Code de classification 2 O
Masse molaire
71 g/mol
Masse volumique (TPS)
3,003 kg/m
3
Densité relative, gaz
2,4 (air=1)
Densité relative, liquide
1,5 (eau=1)
N° CAS NF
3
7783-54-2
Risque majeur
Nocif par inhalation,
entretient vivement la
combustion
Domaine d’inflammabilité
(% vol dans l’air)
Non inflammable
Compatibilité avec les
matériaux
Non corrosif
Caractéristiques
Gaz incolore, odeur de
moisi
Identification des dangers
Spécifications du produit
Pureté globale
(% Vol. abs)
Impuretés
Mode
d’approvisionnement
Taille de
l’emballage
Pression
(bar) à 15°C
Capacité
Garantie
(mois)
Référence produit
>99,99
H
2
O < 5 ppm mole
N
2
< 5 ppm mole
O
2
+ Ar < 5 ppm mole
CO < 1 ppm mole
CO
2
< 3 ppm mole
N
2
O < 3 ppm mole
CF
4
< 40 ppm mole
SF
6
< 10 ppm mole
Acidité (HF) < 1 ppm mole
Bouteille
L50
92
22 kg 36
Sur demande
2
5.1
2
2
5.1
2
2
5.1
2
2
5.1
2
6.54
Janv. 2016