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Tétrafluorure de silicium N48
Gaz chimique : SiF
4
Applications
Nettoyage CVD (fabrication de semi-conducteurs)
Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs)
Informations de transport
Fiches de Données de Sécurité
Gaz comprimé : N° 108GIS
Accès :
http://securite.airliquide.frDonnées physiques
Propriétés
Equipement bouteilles
Raccord du robinet :
Vanne pneumatique avec raccord DISS 642
Couleur de l’ogive : Jaune
Désignation officielle Tétrafluorure de silicium
N° ONU
1859
ADR/RID
Classe 2
Code de classification 2 TC
Masse molaire
104 g/mol
Masse volumique (TPS)
4,33 kg/m
3
Densité relative, gaz
3,6 (air=1)
Densité relative, liquide
Non connue
N° CAS SiF
4
7783-61-1
Risque majeur
Mortel par inhalation,
toxique, provoque des
brûlures de la peau et des
lésions oculaires graves
Domaine d’inflammabilité
(% vol dans l’air)
Non inflammable
Compatibilité avec les
matériaux
Corrosif
Caractéristiques
Gaz incolore, produit des
fumées blanches dans l’air
humide, odeur piquante
Identification des dangers
2
8
2
5.1
2
Spécifications du produit
Pureté globale
(% Vol. abs)
Impuretés
Mode
d’approvisionnement
Taille de
l’emballage
Pression
(bar) à 15°C
Capacité
Garantie
(mois)
Référence produit
> 99,998
O
2
+ Ar < 1 ppm mole
CO < 0,5 ppm mole
CO
2
< 1 ppm mole
CH
4
< 10 ppm mole
N
2
< 3 ppm mole
HF < 50 ppm mole
Bouteille
L50
40 22,7 kg 24
Sur demande
6.51
Janv. 2016