Catalogue Gaz Spéciaux

Trifluorure d’azote N40 Gaz chimique : NF 3 Applications Nettoyage CVD (fabrication de semi-conducteurs) Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs) Informations de transport Fiches de Données de Sécurité Gaz comprimé : N° 091GIS Accès : http://securite.airliquide.fr Données physiques Propriétés Equipement bouteilles Raccord du robinet : Vanne pneumatique avec raccord DISS 640 ou DIN 8 manuel Couleur de l’ogive : Jaune Désignation officielle Trifluorure d’azote N° ONU 2451 ADR/RID Classe 2 Code de classification 2 O Masse molaire 71 g/mol Masse volumique (TPS) 3,003 kg/m 3 Densité relative, gaz 2,4 (air=1) Densité relative, liquide 1,5 (eau=1) N° CAS NF 3 7783-54-2 Risque majeur Nocif par inhalation, entretient vivement la combustion Domaine d’inflammabilité (% vol dans l’air) Non inflammable Compatibilité avec les matériaux Non corrosif Caractéristiques Gaz incolore, odeur de moisi Identification des dangers Spécifications du produit Pureté globale (% Vol. abs) Impuretés Mode d’approvisionnement Taille de l’emballage Pression (bar) à 15°C Capacité Garantie (mois) Référence produit >99,99 CF 4 ≤ 20 ppmv Acidité (HF) ≤ 1 ppmv CO ≤ 1 ppmv CO 2 ≤ 1 ppmv H 2 O ≤ 1 ppmv N 2 ≤ 3 ppmv N 2 O ≤ 1 ppmv O 2 + Ar ≤ 1 ppmv SF 6 ≤ 1 ppmv Bouteille L50 92 22 kg 36 Sur demande 2 5.1 2 2 5.1 2 2 5.1 2 2 5.1 2 6.50 Oct. 2017