Catalogue Gaz Spéciaux

Trifluorométhane N48 Gaz à effet de serre relevant du protocole de Kyoto Gaz chimique : CHF 3 Applications Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs) Informations de transport Fiches de Données de Sécurité Gaz comprimé : N° 119GIS Accès : http://securite.airliquide.fr Données physiques Propriétés Equipement bouteilles Raccord du robinet : AFNOR C – IS 21,7 x 1,814 - à droite mâle Couleur de l’ogive : Vert vif Masse molaire 70 g/mol Masse volumique (TPS) 2,99 kg/m 3 Densité relative, gaz 2,4 (air=1) Densité relative, liquide 1,4 (eau=1) N° CAS CHF 3 75-46-7 Potentiel de Réchauffement Global (PRG) (CO 2 =1) 12 000 Risque majeur Gaz sous pression, peut causer l’asphyxie Domaine d’inflammabilité (% vol dans l’air) Non inflammable Compatibilité avec les matériaux Non corrosif Caractéristiques Gaz incolore, odeur éthérée Identification des dangers Désignation officielle Trifluorométhane (gaz réfrigérant R23) N° ONU 1984 ADR/RID Classe 2 Code de classification 2 A 2 5.1 2 2 5.1 2 Spécifications du produit Pureté globale (% Vol. abs) Impuretés Mode d’approvisionnement Taille de l’emballage Pression (bar) à 15°C Capacité Garantie (mois) Référence produit >99,998 Acidité (HF) ≤ 0,1 ppmv CO 2 ≤ 1 ppmv H 2 O ≤ 2 ppmv N 2 ≤ 4 ppmv O 2 + Ar ≤ 1 ppmv OHC ≤ 6 ppmv CF4 ≤ 1 ppmv THC as CH 4 ≤ 1 ppmv Bouteille S05 36,5 3,9 kg 36 P0737S05R0A001 6.49 Oct. 2017

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