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Hexafluorure de soufre N50
Gaz à effet de serre relevant du protocole de Kyoto
(soumis à déclaration)
Gaz chimique : SF
6
Spécifications du produit
Pureté globale
(% Vol. abs)
Impuretés
Mode
d’approvisionnement
Taille de
l’emballage
Pression
(bar) à 15°C
Capacité
Garantie
(mois)
Référence produit
>99,999
O
2
+ Ar < 1 ppm mole
N
2
< 3 ppm mole
CF
4
< 1 ppm mole
CO < 0,5 ppm mole
H
2
0 < 3 ppm mole
CO
2
< 0,5 ppm mole
THC as CH
4
< 1 ppm mole
Acidity as HF < 0,5 ppm mole
Bouteille
S05
17,5 5 kg 36 P0964S05R0A001
Bouteille
L50
17,5 52 kg 36 P0964L50R0A001
Applications
Gravure plasma (fabrication des semi-conducteurs)
Gravure de silicium métallique (spécialement pour le
tungstène) les nitrures et oxydes
(réglementé UE n° 517/2014)
Informations de transport
Fiches de Données de Sécurité
Gaz comprimé : N° 110GIS
Accès :
http://securite.airliquide.frDonnées physiques
Propriétés
Equipement bouteilles
Raccord du robinet :
AFNOR C – IS 21,7 x 1,814 - à droite mâle
Couleur de l’ogive : Vert vif
Masse molaire
146 g/mol
Masse volumique (TPS)
6,27 kg/m
3
Densité relative, gaz
5 (air=1)
Densité relative, liquide
1,4 (eau=1)
N° CAS SF
6
2551-62-4
Potentiel de Réchauffement
Global (PRG) (CO
2
=1)
22 800
Risque majeur
Gaz sous pression
Domaine d’inflammabilité
(% vol dans l’air)
Non inflammable
Compatibilité avec les
matériaux
Non corrosif
Caractéristiques
Gaz incolore, inodore
Identification des dangers
Désignation officielle Hexafluorure de soufre
N° ONU
1080
ADR/RID
Classe 2
Code de classification 2 A
2
5.1
2
2
5.1
2
6.30
Janv. 2016