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Arsine N65
Applications
Dopant de type n pour le silicium épitaxié
Réalisation de composés III - V par épitaxie, MOCVD
Informations de transport
Fiches de Données de Sécurité
Gaz comprimé : N° 005ALFI
Accès :
http://securite.airliquide.frDonnées physiques
Propriétés
Equipement bouteilles
Raccord du robinet :
Vanne pneumatique DISS 632
Couleur de l’ogive : Jaune
Désignation officielle Arsine
N° ONU
2188
ADR/RID
Classe 2
Code de classification 2 TF
Produit spécifique, devis sur demande.
Masse molaire
78 g/mol
Masse volumique (TPS)
3,29 kg/m
3
Densité relative, gaz
2,7 (air=1)
Densité relative, liquide
1,6 (eau=1)
N° CAS AsH
3
7784-42-1
Risque majeur
Gaz très toxique, dangereux
pour l’environnement,
extrêmement inflammable,
mortel par inhalation
Domaine d’inflammabilité
(% vol dans l’air)
3,9 à 77,8
Compatibilité avec les
matériaux
Se référer à l’ISO 11114
Caractéristiques
Incolore, odeur d’ail
Identification des dangers
Spécifications du produit
Gaz chimique : AsH
3
Pureté globale
(% Vol. abs)
Impuretés
Mode
d’approvisionnement
Taille de
l’emballage
Pression
(bar) à 15°C
Capacité
Garantie
(mois)
Référence produit
>99,99995
H
2
O < 1 ppm mole
O
2
+ Ar < 1 ppm mole
C
n
H
m
< 1 ppm mole
CH
4
< 1 ppm mole
CO < 1 ppm mole
CO
2
< 1 ppm mole
N
2
< 1 ppm mole
PH
3
< 1 ppm mole
Bouteille
S05
12,5
2 kg
sur demande
2
5.1
2
2
2
5.1
2
6.5
Janv. 2016