Catalogue Gaz Spéciaux

Tétrafluorométhane N48 Gaz à effet de serre relevant du protocole de Kyoto Gaz chimique : CF 4 Applications Nettoyage CVD (fabrication de semi-conducteurs) Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs) Informations de transport Fiches de Données de Sécurité Gaz comprimé : N° 116GIS Accès : http://securite.airliquide.fr Données physiques Propriétés Equipement bouteilles Raccord du robinet : AFNOR C – IS 21,7 x 1,814 - à droite mâle Couleur de l’ogive : Vert vif Masse molaire 88 g/mol Masse volumique (TPS) 3,72 kg/m 3 Densité relative, gaz 3 (air=1) Densité relative, liquide Non applicable N° CAS CF 4 75-73-0 Potentiel de Réchauffement Global (PRG) (CO 2 =1) 5 700 Risque majeur Gaz sous pression Domaine d’inflammabilité (% vol dans l’air) Non inflammable Compatibilité avec les matériaux Non corrosif Caractéristiques Gaz incolore, non détectable à l’odeur Identification des dangers Désignation officielle Tétrafluorométhane (gaz réfrigérant R 14) N° ONU 1982 ADR/RID Classe 2 Code de classification 2 A 2 5.1 2 2 5.1 2 Spécifications du produit Pureté globale (% Vol. abs) Impuretés Mode d’approvisionnement Taille de l’emballage Pression (bar) à 15°C Capacité Garantie (mois) Référence produit >99,998 Acidité (HF) ≤ 0,1 ppmv CO ≤ 1 ppmv CO 2 ≤ 1 ppmv H 2 O ≤ 1 ppmv N 2 ≤ 8 ppmv O 2 + Ar ≤ 2 ppmv OHC ≤ 1 ppmv SF6 ≤ 0,2 ppmv Bouteille S05 70 0,5 m 3 36 P0652S05R0A001 Bouteille L50 100 36,8 kg 36 P0652L50R0A001 6.47 Oct. 2017