Catalogue Gaz Spéciaux

Silane N50 Gaz chimique : SiH 4 Spécifications du produit Pureté globale (% Vol. abs) Impuretés Mode d’approvisionnement Taille de l’emballage Pression (bar) à 15°C Capacité Garantie (mois) Référence produit >99,999 CH 4 ≤ 0,1 ppmv CO ≤ 0,1 ppmv CO 2 ≤ 0,1 ppmv H 2 ≤ 20 ppmv H 2 O ≤ 0,5 ppmv N 2 ≤ 1,5 ppmv Si 2 H 6 ≤ 0,5 ppmv O 2 + Ar ≤ 0,5 ppmv Total Chlorosilane ≤ 0,1 ppm Carbone ≤ 0,1 ppma Résistivité > 10000 ohm.cm- 1 Bouteille S05 alu 49 540 g 36 Sur demande Bouteille L50 (P) 81 15 kg 36 Sur demande Cadre V16 (P) 80 240 kg 36 Sur demande Applications Dépôts de silicium amorphe Dépôt CVD (fabrication de semi-conducteurs) Traitement Corona haute performance des matières plastiques Revêtement de silice sur le verre Epitaxie du silicium Informations de transport Fiches de Données de Sécurité Gaz comprimé : N° 107GIS Accès : http://securite.airliquide.fr Données physiques Propriétés Equipement bouteilles Raccord du robinet : AFNOR E pour S05, DIN-1 pour L50 Couleur de l’ogive : Rouge Désignation officielle Silane N° ONU 2203 ADR/RID Classe 2 Code de classification 2 F Masse molaire 32 g/mol Masse volumique (TPS) 1,35 kg/m 3 Densité relative, gaz 1,1 (air=1) Densité relative, liquide 0,55 (eau=1) N° CAS SiH 4 7803-62-5 Risque majeur Extrêmement inflammable, peut causer l’asphyxie Domaine d’inflammabilité (% vol dans l’air) 1,4 à 100 Compatibilité avec les matériaux Non corrosif Caractéristiques Gaz incolore, inodore Identification des dangers 2 5.1 2 2 5.1 2 P : robinet pneumatique 6.45 Oct. 2017