Catalogue Gaz Spéciaux

Hexafluorure de soufre N50 Gaz à effet de serre relevant du protocole de Kyoto (soumis à déclaration) Gaz chimique : SF 6 Spécifications du produit Pureté globale (% Vol. abs) Impuretés Mode d’approvisionnement Taille de l’emballage Pression (bar) à 15°C Capacité Garantie (mois) Référence produit >99,999 CF 4 ≤ 1 ppmv CO ≤ 0,5 ppmv CO 2 ≤ 0,5 ppmv H 2 0 ≤ 3 ppmv THC as CH 4 ≤ 1 ppmv Acidité HF ≤ 0,5 ppmv N 2 ≤ 8 ppmv O 2 + Ar ≤ 1 ppmv Bouteille L50 17,5 52 kg 36 P0964L50R0A001 Applications Gravure plasma (fabrication des semi-conducteurs) Gravure de silicium métallique (spécialement pour le tungstène) les nitrures et oxydes (réglementé UE n° 517/2014) Informations de transport Fiches de Données de Sécurité Gaz comprimé : N° 110GIS Accès : http://securite.airliquide.fr Données physiques Propriétés Equipement bouteilles Raccord du robinet : AFNOR C – IS 21,7 x 1,814 - à droite mâle DIN 6 Couleur de l’ogive : Vert vif Masse molaire 146 g/mol Masse volumique (TPS) 6,27 kg/m 3 Densité relative, gaz 5 (air=1) Densité relative, liquide 1,4 (eau=1) N° CAS SF 6 2551-62-4 Potentiel de Réchauffement Global (PRG) (CO 2 =1) 22 800 Risque majeur Gaz sous pression Domaine d’inflammabilité (% vol dans l’air) Non inflammable Compatibilité avec les matériaux Non corrosif Caractéristiques Gaz incolore, inodore Identification des dangers Désignation officielle Hexafluorure de soufre N° ONU 1080 ADR/RID Classe 2 Code de classification 2 A 2 5.1 2 2 5.1 2 6.29 Oct. 2017